1.什么是电子背散射衍射？

电子背散射衍射（EBSD）是一种在扫描电镜中获取样品晶体学信息的技术。它利用背散射电子衍射来获取晶体取向、晶界取向差等晶体学信息。与金相、X射线衍射和扫描电子显微镜等技术相比，EBSD能够提供更为丰富、精确的晶体学信息。

EBSD在材料表征方面的应用已经被广泛接受，并且随着扫描电子显微镜的普及和EBSD数据采集速度的提升，它在金属材料及其加工领域发挥着重要作用。它在金属的连接和变形过程等方面有着重要的应用。

EBSD技术能够提供关于晶粒尺寸、晶体结构取向等多种信息，并在晶粒取向、微区织构、取向关系、惯习面测定、物相鉴定、应变分布测定、晶界性质研究和晶格常数等方面具有广泛应用。

图1 电子背散射衍射探测器示意图

2.电子背散射衍射系统的主要结构是什么？

EBSD系统由硬件和软件组成。硬件部分主要负责EBSD花样的采集，包括探头部分和控制部分。软件部分主要指计算机系统中的EBSD软件包，包括EBSD花样的采集标定软件、EBSD数据处理软件。

EBSD探头：通常由低光敏感性的CCD或SIT相机、磷光屏组成，磷光屏可将电子信号转化为光信号。背散射电子在荧光屏上成像后透过铅玻璃投射到后面的CCD晶片，用来显示菊池花样。

探头控制器：包含控制探头伸缩的手柄及CCD相机的控制器。现代的EBSD系统都是利用控制器来控制探头的伸缩，控制精度在0.1mm以上。